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簡易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹
SC-3100
●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。
●設(shè)備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。
●由于工作是機(jī)械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。
SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動(dòng)供給取樣化學(xué)品并移動(dòng)支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。
| 設(shè)備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
| 手術(shù) | 電腦 (*3) | |||||||||
| 安裝/拆卸固定器 | 自動(dòng)的 | 手動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | |||||||
| 供應(yīng)取樣用化學(xué)溶液 | 自動(dòng)的 | 手動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | |||||||
| 化學(xué)溶液取樣采集 | 自動(dòng) (*1) | 手動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | |||||||
| 基本采集模式 | 環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧 | |||||||||
| 追加收集圖案(*1) | 橫向、矩形、弧形 | |||||||||
| 定向平整處理（*2） | 添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式 | |||||||||
| 抽吸式液體收集 | ○ | - | ○ | |||||||
| 親水表面的恢復(fù) | - | ○ | ○ | |||||||
| 外部尺寸（寬x深x高）（毫米） | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
| 重量 | 35公斤 | 40公斤 | 50公斤 | |||||||
| 使用地點(diǎn) | 干凈的草案里面 | |||||||||
| 必要的公用事業(yè) | 電源（AC100-240V）、 純凈水、潔凈干燥空氣 | 電源（AC100-240V）、N2、潔凈干燥空氣 | 電源（AC100-240V）、N2、 純凈水、潔凈干燥空氣 | |||||||
